micro-ele相关论文
一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点。每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积......
利用微电泳技术对不同状态下瓷土悬浮液的动电电位进行了测定,以了解其在不同条件下所带电荷情况及其本身的动电特性.实验结果表明......
针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉......